Литовченко

Основы физики микроэлектронных систем металл-диэлектрик-полупроводник, Литовченко В.Г., Горбань А.П., 1978

Основы физики микроэлектронных систем металл-диэлектрик-полупроводник, Литовченко В.Г., Горбань А.П., 1978.

   В монографии рассмотрены методы получения слоистых структур типа диэлектрик — полупроводник, металл — диэлектрик — полупроводник, способы различных активных воздействий на их физические свойства и приборные характеристики. Большое внимание уделено изложению физических представлений о механизмах протекания неравновесных явлений в полупроводниках и диэлектриках.
Рассчитана на научных и инженерно-технических работников, специализирующихся в области полупроводниковой интегральной электроники.

Основы физики микроэлектронных систем металл-диэлектрик-полупроводник, Литовченко В.Г., Горбань А.П., 1978
Скачать и читать Основы физики микроэлектронных систем металл-диэлектрик-полупроводник, Литовченко В.Г., Горбань А.П., 1978