Данилина

Процессы микро- и нанотехнологии, Данилина Т.И., Смирнова К.И., Илюшин В.А., Величко А.А., 2004

Процессы микро- и нанотехнологии, Данилина Т.И., Смирнова К.И., Илюшин В.А., Величко А.А., 2004.

  Современный этап развития радиоэлектроники характеризуется широким применением интегральных микросхем (ИМС) во всех радиотехнических схемах и аппаратуре. Это связано со значительным усложнением требований и задач, решаемых радиоэлектронной аппаратурой, что привело к росту числа элементов в ней. Отсюда особо важное значение приобретают проблемы повышения надежности аппаратуры и ее элементов.

Процессы микро- и нанотехнологии, Данилина Т.И., Смирнова К.И., Илюшин В.А., Величко А.А., 2004
Скачать и читать Процессы микро- и нанотехнологии, Данилина Т.И., Смирнова К.И., Илюшин В.А., Величко А.А., 2004
 

Инновационная деятельность в ДОУ, Программно-методическое обеспечение, Урмина И.А., Данилина Т.А., 2009

Инновационная деятельность в ДОУ, Программно-методическое обеспечение, Урмина И.А. Данилина Т.А., 2009.

  Основные тенденции современного дошкольного образования связаны с организацией комплексного сопровождения индивидуального развития детей в условиях видового разнообразия соответствующих учреждений и территориальных особенностей их функционирования. Это требует разных подходов к образовательному процессу, его планированию и разработке программно-методического обеспечения деятельности современного дошкольного образовательного учреждения как динамически развивающейся организации, работающей в режимах функционирования и развития.
Пособие адресовано руководителям, административным и практическим работникам дошкольных образовательных учреждений различных видов.

Инновационная деятельность в ДОУ, Программно-методическое обеспечение, Урмина И.А., Данилина Т.А., 2009
Скачать и читать Инновационная деятельность в ДОУ, Программно-методическое обеспечение, Урмина И.А., Данилина Т.А., 2009
 

Технология кремниевой наноэлектроники, Данилина Т.И., Кагадей В.А., Анищенко Е.В., 2011

Технология кремниевой наноэлектроники, Данилина Т.И., Кагадей В.А., Анищенко Е.В., 2011.

  В учебное пособие включено описание новых технологических процессов, которые составляют основу современного производства сверхбольших интегральных схем (СБИС) и других устройств кремниевой наноэлектроники. К таким процессам относятся субмикронная литография, ионное легирование, быстрый термический отжиг, ионное и плазмохимическое травление наноструктур, атомно-слоевое и ионно-плазменное осаждение металлов и диэлектриков, химико-механическая планаризация. Изложены технологические маршруты формирования СБИС.
Пособие предназначено для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также может быть использовано при подготовке студентов, обучающихся по направлению «Электроника и наноэлектроника», «Нанотехнология», «Нанотехнология и микросистемная техника».

Технология кремниевой наноэлектроники, Данилина Т.И., Кагадей В.А., Анищенко Е.В., 2011
Скачать и читать Технология кремниевой наноэлектроники, Данилина Т.И., Кагадей В.А., Анищенко Е.В., 2011