Введение в нанометрологию, Сергеев А.Г., 2010


Введение в нанометрологию, Сергеев А.Г., 2010.

  Пособие содержит основные сведения по метрологическому обеспечению различных технологических операций в сфере наноиндустрии. Рассмотрены становление в XX – XXI вв. и концепции развития нанометрологии. Подробно изложены современные основы технического обеспечения нанометрологии. Освещены вопросы нестабильности, точности и неопределенности наноизмерений. Особое внимание уделено основным метрологическим операциям – поверке и калибровке сканирующей зондовой микроскопии.
Изложены организационные принципы нанометрологии в России. Приведен перечень вузов, работающих в сфере наноиндустрии, и основные направления их исследований в данной области.
Предназначено для студентов и аспирантов, изучающих вопросы нанотехнологии, а также может быть полезно инженерно-техническим работникам, связанным с проблемами наноиндустрии.

Введение в нанометрологию, Сергеев А.Г., 2010

Возникновение нанометрологии.
Возникновение нанометрологии, естественно, связано с появлением понятий «нанотехнологии» и «наноиндустрии». Современные исследователи считают, что основанием прогресса в сфере «нано» стало изобретение в 1948 году транзистора, который генерирует, усиливает и преобразует электрические сигналы.

Сначала на одной полупроводниковой кремниевой пластине удалось разместить несколько транзисторов, потом - целые схемы, которые стали называть интегральными. В течение двух десятилетий обычные интегральные схемы сменились большими, с числом транзисторов до 10000. затем сверхбольшими (100000). а сегодня счет идет уже на миллионы. Естественно. что размеры элементов интегральных схем при этом стремительно уменьшались. В серийных схемах они сжались до 2-3 микрометров, а в отдельных образцах и до 0.1-0.2 микрометра, т.е. до 100 нанометров. Таким образом, размеры элементов устремились к размерам атома в наноме-тровый диапазон.

Содержание
ВВЕДЕНИЕ
ГЛАВА 1. СТАНОВЛЕНИЕ НАНОИНДУСТРИИ И КОНЦЕПЦИЯ НАНОМЕТРОЛОГИИ
1.1. Возникновение нанометрологии
1.2. Нанометрология за рубежом
1.3. Положение России в сфере наноиндустрии
1.4. Концепция развития нанометрологии
ГЛАВА 2. ТЕХНИЧЕСКОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ
2.1. Методы и средства интерференционных измерений
2.2. Использование принципов микроскопии в наноизмерениях
2.2.1. Оптическая микроскопия
2.2.2. Электронная микроскопия
2.3. Сканирующая зондовая микроскопия
2.3.1. Виды сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ)
2.3.2. Сканирующий туннельный микроскоп (СТМ)
2.3.3. Атомно-силовой микроскоп (ACM)
2.4. Разновидности ближнепольной микроскопии
2.5. Спектроскопия в нанометрологии
2.6. Сравнительный анализ технических средств нанометрологии.
ГЛАВА 3. НЕСТАБИЛЬНОСТЬ. ТОЧНОСТЬ И НЕОПРЕДЕЛЕННОСТЬ НАНОИЗМЕРЕНИЙ
3.1. Основные положения
3.2. Измерение линейных размеров рельефных наноструктур
3.3. Точность измерения линейных наноразмеров
3.4. Погрешности измерения длины волны и частоты лазера
3.5. Нестабильность мощности излучения лазеров
3.6. Разрешающая способность растрового электронного микроскопа
3.7. Оценка расходимости лазерного излучения
3.8. Особенности наноизмерений в АСМ-режиме
3.9. Введение концепции неопределенности
3.10. Погрешность и неопределенность
3.11. Этапы оценивания погрешностей и неопределенностей
3.12. Пример вычисления погрешности эталона (по данным ВНИИМ)
ГЛАВА 4. ПОВЕРКА И КАЛИБРОВКА В СФЕРЕ НАНОМЕТРОЛОГИИ
4.1. Общие сведения
4.2. Рельефные меры для нанометрового диапазона
4.2.1. Классификация тест-объектов
4.2.2. Поверка рельефной меры
4.2.3. Калибровка рельефной меры
4.3. Измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ)
4.3.1. Поверка растровых микроскопов
4.3.2. Стандартная калибровка растровых микроскопов
4.3.3. Калибровка РЭМ по двум координатам
4.4. Атомно-силовые измерительные зондовые микроскопы (ACM)
4.4.1. Поверка ACM
4.4.2. Калибровка ACM
4.4.3. Калибровка ACM по трем координатам
ГЛАВА 5. ОРГАНИЗАЦИОННЫЕ ОСНОВЫ НАНОМЕТРОЛОГИИ
5.1. Основные положения
5.2. Стандартизация и сертификация в наноиндустрии
5.3. Цели и задачи Регионального отделения ЦМО
5.4. Управление деятельностью РО ЦМО
5.5. Направления работ в области нанометрологин
5.6. Организация исследований и кадровое обеспечение наноиндустрии
5.7. Проблемы и задачи нанометрологии
ПРИЛОЖЕНИЕ
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК.



Бесплатно скачать электронную книгу в удобном формате и читать:

Скачать книгу Введение в нанометрологию, Сергеев А.Г., 2010 - fileskachat.com, быстрое и бесплатное скачивание.

Скачать




Скачать книгу Введение в нанометрологию, Сергеев А.Г., 2010 - pdf - Яндекс.Диск.
Дата публикации:





Теги: :: ::


Следующие учебники и книги:
Предыдущие статьи:


 


 


Книги, учебники, обучение по разделам




Не нашёл? Найди:





2016-12-09 23:31:54